化学机械抛光是指利用抛光机、抛光液、抛光布等工艺在一定条件下实现的高表面平整度的加工工艺，其中抛光液的供应由蠕动泵完成。

    抛光液是一种不含硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂。抛光液具有良好的脱脂性能，防锈、清洁和抛光性能好，并能使金属制品呈现出真实的金属光泽。性能稳定、无毒、对环境无污染等等。

    抛光液的类型:硅材料抛光液/蓝宝石抛光液/砷化镓抛光液/铌酸锂抛光液/集成电路多重铜线抛光液/集成电路隔离抛光液等

    大部分抛光液可通过创锐蠕动泵输送：

    蠕动泵的特殊结构，使泵液与泵体严格分离，泵的管路和泵头可完全分离，泵管可随时更换，蠕动泵在化学抛光过程中优势明显。

    (1)无污染

    化学抛光过程中，创锐蠕动泵所输送的抛光液始终在泵管内流动，不接触泵体，特别是不接触机械传动机构，避免了化学机械抛光过程中的金属污染，也不会因为抛光液的腐蚀性而损坏泵体的机械部件。

    (2)自吸能力

    创锐蠕动泵能够产生足够的真空吸力，工作时将抛光液从池中吸进泵管，从而消除了预充泵和吸水管的过程，也消除了淹没灌装的需要，因此不再需要将泵置于液源液位以下，使泵的安装位置更加灵活，更好地与抛光机本身集成。

    (3)操作简单

    创锐蠕动泵操作非常简单，泵的管路安装、拆卸、锁紧均可根据需要随时要求，控制简单，速度控制可通过速度控制旋钮或操作面板来实现。此外，根据不同的流量要求，还可以在蠕动泵同时串联2个或3个泵头，实现了抛光液的多通道供应。