高精密蠕动泵在半导体行业的应用

时间:2021-10-08 15:37 点击: 次

许多实验室及轻工业制造商对高精度蠕动泵的要求非常严格，要保证实验结果的准确性、数据的可靠性、生产过程的连续性和稳定性。因此，在材料传输、多种试剂测定和附加应用中，高精度蠕动泵传输精度高，稳定性好，操作容易，维护方便。

高精度蠕动泵具有选择流量、获得所需流量、设置工作时间、启动连续循环间隔、自动计算流量和运输量等功能。当注入量达到预设量时，将自动发出声音警报，并具有断电数据保护功能，停止工作后再打开一次，最后设置的数据将继续可用。

半导体制造应始终控制工艺工具的液体流动，棘手的应用之一是化学机械平整(CMP)。CMP工具无法为抛光基板分配一致的浆速时，对产量、化学物质使用和材料完整性有很大的负面影响。晶圆厚度的变化、缺陷密度的增加、工具停机时间和晶圆废弃物的增加只是由于过程控制不良而可能出现的一些问题。

高精度蠕动泵非常适合半导体产业的高纯度和腐蚀性化学环境。对于CMP，它提供了在抛光过程中向芯片分配点浆料所需的线性和重复性，低剪切力对CMP浆料温和，通过变速操作，可以在大范围的操作范围内控制流量，保持过程的完整性。

能实现浆料性能的圆片平整度、高精度蠕动泵通过控制料浆的输送和分布，有助于实现这些目标。高精度蠕动泵的无创设计提供了直线流动路径，没有冷凝、固化和污染浆液的死流区域。流速达到0.5%。通过稳定的流体输送，浆液不仅可以继续流向抛光垫，还可以减少浆料、化学物质和去离子水的浪费。

高精密